JJ X-Ray設(shè)計(jì)和生產(chǎn)用于超精細(xì)分辨率的整體式位移臺(tái) MONOLITHIC STAGE。這些位移臺(tái)適用于UHV和低至 0.01 arcsec (50 nrad)的角分辨率?？筛鶕?jù)客戶(hù)對(duì)分辨率、尺寸和負(fù)載的要求而生產(chǎn)的。

JJ X-Ray 開(kāi)發(fā)了基于不銹鋼整體式位移臺(tái)的theta旋轉(zhuǎn)和chi旋轉(zhuǎn)。整體平臺(tái)的中心部分通過(guò)薄壁連接相對(duì)于外部部分旋轉(zhuǎn)。為了提高分辨率，壓電致動(dòng)器作用在一個(gè)靈活的杠桿臂上，將分辨率降低了4倍。平臺(tái)的角度范圍為 1mrad，負(fù)載能力為 1-10kg。

MONOLITHIC STAGE

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