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不銹鋼材料因具有優(yōu)異的耐腐蝕性、高機(jī)械強(qiáng)度和良好的焊接性能等特點(diǎn)，使其腔體在半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室研究、航天科技以及各類(lèi)精密加工和分析儀器等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。

本文介紹采用鈦合金制造CF法蘭、鋁合金制造法蘭頸部的方案。鈦合金法蘭滿足硬度要求的同時(shí)，鋁合金頸部便于與鋁合金腔體進(jìn)行焊接。

本文介紹的另一種解決方案是采用鋁合金與不銹鋼的復(fù)合合金板制造法蘭。

前述兩種解決方案均采用CF法蘭，可應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。然而在半導(dǎo)體制造及相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，高真空環(huán)境已經(jīng)能夠滿足使用需求。