對于單色化應(yīng)用，JJ X-Ray 超高真空狹縫 IB-C30-UHV是一款可靠且經(jīng)過充分驗證的UHV兼容狹縫系統(tǒng)，具有許多與我們知名的空氣狹縫和真空狹縫系統(tǒng)相同的設(shè)計特點。

作為空氣和真空IB型狹縫，UHV版本的孔徑由四個獨立移動且高度拋光的碳化鎢刀片限定。這些刀片由高精度真空導(dǎo)軌系統(tǒng)控制。導(dǎo)軌靠近刀片，使導(dǎo)軌到刀片的距離更短。

為避免 UHV 污染和電機(jī)過熱問題，高分辨率步進(jìn)電機(jī)位于真空之外，所有運(yùn)動均通過磁耦合饋通建立。

在其基本配置中，IB-C30-UHV 狹縫交付時帶有法蘭開口，可與 CF100 法蘭連接。也可根據(jù)要求提供其他法蘭。

我們建議選擇帶有內(nèi)部線性UHV兼容編碼器的選件，以便獲得有關(guān)實際刀片位置的準(zhǔn)確信息。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品尺寸

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