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真空饋通Feedthrough的連接方式通常采用法蘭連接的形式，其連接方法具體步驟如下：

1、確定連接法蘭的規(guī)格和型號，如ISO、KF、CF等。

2、清洗連接法蘭的表面，確保其表面光滑、無雜質(zhì)。

3、將兩個法蘭對準(zhǔn)，使其螺孔對應(yīng)。

4、插入法蘭螺栓，并用手或扳手逐個旋緊，保證法蘭連接緊密。

5、逐步用扭力扳手將每個螺栓扭緊，直到達(dá)到規(guī)定的扭矩值，確保法蘭連接牢固。

6、在連接法蘭的密封面之間涂抹一層真空密封劑，如石墨涂料、硅橡膠等，以確保真空密封。

真空饋通法蘭連接時需要保證連接部位干凈、光滑，使用合適的密封劑和扭矩扳手進(jìn)行扭緊，避免過緊或過松導(dǎo)致泄漏或損壞。

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